Urteil des BPatG vom 15.10.2010
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BPatG 154
08.05
BUNDESPATENTGERICHT
14 W (pat) 23/08
_______________
(Aktenzeichen)
Verkündet am
15. Oktober 2010
…
B E S C H L U S S
In der Beschwerdesache
betreffend das Patent 10 2005 001 334
…
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…
hat der 14. Senat (Technischer Beschwerdesenat) des Bundespatentgerichts auf
die mündliche Verhandlung vom 15. Oktober 2010 unter Mitwirkung des
Vorsitzenden Richters Dr. Schröder, der Richter Harrer und Dr. Gerster sowie der
Richterin Dr. Münzberg
beschlossen:
Auf die Beschwerde der Einsprechenden wird der angefochtene
Beschluss aufgehoben.
Das Patent 10 2005 001 334 wird mit folgenden Unterlagen
beschränkt aufrechterhalten:
Patentansprüche 1 bis 9, überreicht in der mündlichen Verhand-
lung am 15. Oktober 2010,
Beschreibung, Seiten 2 bis 5 gemäß Patentschrift,
ein Blatt Zeichnungen, Figuren 1 und 2 gemäß Patentschrift.
Die weitergehende Beschwerde wird zurückgewiesen.
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G r ü n d e
I.
Mit dem angefochtenen Beschluss vom 19. Juni 2008 hat die Patentabteilung 45
des Deutschen Patent- und Markenamts das Patent 10 2005 001 334 mit der
Bezeichnung
„Kompartmentsystem einer längserstreckten Vakuumbeschichtungsanlage“
in vollem Umfang aufrechterhalten.
Die Aufrechterhaltung des Patents wurde im Wesentlichen damit begründet, dass
das Kompartmentsystem gemäß dem seinerzeit geltenden Patentanspruch 1 im
Hinblick auf den zitierten Stand der Technik neu sei und auf einer erfinderischen
Tätigkeit beruhe.
Gegen diesen Beschluss richtet sich die Beschwerde der Einsprechenden.
Die Patentinhaberin hat in der mündlichen Verhandlung neue Patentansprüche 1
bis 9 eingereicht.
Der Patentanspruch 1 lautet wie folgt:
„Kompartmentsystem einer längserstreckten Vakuumbeschich-
tungsanlage, gebildet aus einem kanalartigen und evakuierbarem
Anlagengehäuse, in welchem ausschließlich durch eine, sich in
den Innenraum erstreckende, rechtwinklig zu den Gehäuseaußen-
wänden angeordnete Zwischenwand oder mehrere solcher Zwi-
schenwände Kompartments derart abgeteilt sind, dass das zu
beschichtende Substrat in einer Transportebene mittels eines
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Transportsystems durch das Anlagengehäuse hindurch bewegbar
ist, und in dessen oberer und/oder unterer Gehäuseaußenwand
mit Deckeln verschließbare Öffnungen ausgebildet sind, wobei an
einem Deckel eine in ein Kompartment ragende Beschichtungs-
quelle montiert ist, dadurch gekennzeichnet, dass die Zwischen-
wand oder die Zwischenwände an einem Deckel montiert und
durch die Öffnungen, welche der Deckel verschließt, aus dem
Anlagengehäuse entnehmbar sind.“
Die Einsprechende bestreitet die Neuheit des beanspruchten Kompartmentsys-
tems u. a. gegenüber der Druckschrift
E1
DE 197 36 318 A1
und macht ferner geltend, dass das patentgemäße Kompartmentsystem nicht auf
einer erfinderischen Tätigkeit beruhe, da es durch die Kombination von E1 mit der
Druckschrift
E6
Auszug aus der Dissertationsschrift von Johannes Stollenwerk zum
Thema „Reaktives Sputtern von Oxidfilmen - Herstellung dielektri-
scher dünner Schichten für technische Anwendungen“, 1993, Ver-
lag der Augustinus Buchhandlung, Aachen, S. 24 bis 33
nahegelegt sei.
Die Einsprechende beantragt,
den angefochtenen Beschluss aufzuheben und das Patent in vollem Um-
fang zu widerrufen.
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Die Patentinhaberin beantragt,
das Patent beschränkt aufrechtzuerhalten auf der Grundlage der Patent-
ansprüche 1 bis 9, überreicht in der mündlichen Verhandlung, sowie der
Beschreibung und Zeichnungen, jeweils gemäß Patentschrift.
Sie hat dem Vorbringen der Einsprechenden widersprochen und im Wesentlichen
geltend gemacht, dass der nunmehr beanspruchte Gegenstand durch den Stand
der Technik weder vorweggenommen noch nahegelegt werde.
Wegen weiterer Einzelheiten, insbesondere den Wortlaut der geltenden Patentan-
sprüche 2 bis 9, wird auf den Akteninhalt Bezug genommen.
II.
Die Beschwerde der Einsprechenden ist zulässig, sie konnte jedoch nur in dem
aus dem Tenor ersichtlichen Umfang zum Erfolg führen.
1.
Die geltenden Patentansprüche 1 bis 9 basieren auf den erteilten Patentan-
sprüchen 1 bis 9 i. V. m. Absatz [0011] der Patentschrift und gehen auf die
ursprünglichen Ansprüche 1 bis 8 sowie Seite 3, Zeile 32 bis Seite 4, Zeile 2 und
Seite 5, Zeilen 15 bis 24 der ursprünglich eingereichten Unterlagen zurück.
2.
Das Kompartmentsystem einer längserstreckten Vakuumbeschichtungsan-
lage nach Patentanspruch 1 ist neu.
In keiner der dem Senat vorliegenden Entgegenhaltungen wird ein solches Kom-
partmentsystem beschrieben. Dies gilt auch für die von der Einsprechenden als
neuheitsschädlich erachtete Druckschrift E1, die eine Vorrichtung zum Beschich-
ten von plattenförmigen Substraten mit dünnen Schichten mittels Kathodenzer-
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stäubung betrifft. Die hierfür verwendete Durchlaufanlage mit kanalartigem Anla-
gengehäuse enthält für die Begrenzung der Beschichtungsräume zwar Zwischen-
wände, die mit einem Deckel im oberen Wandteil des Gehäuses in Verbindung
stehen und über die Öffnung, die der Deckel verschließt, aus der Anlage entnom-
men werden können (vgl. E1, Sp. 2, Z. 41 bis 47 i. V. m. Fig. 1, Bezugszeichen 15,
15`). Allerdings sind die lösbaren, über Öffnungen entnehmbaren Zwischenwände
nicht die einzigen Wandteile, die die Durchlaufanlage der E1 in Kompartments
unterteilen. Mit zusätzlichen Zwischenwänden wird eine weitere Unterteilung der
Anlage in sog. evakuierbare Abteilungen vorgenommen (vgl. E1, Anspruch 1 und
2 i. V. m. Fig. 1 Bezugszeichen C, C` und C`` sowie 23, 23` und 23``). Die hierfür
verwendeten Zwischenwände erstrecken sich vom oberen horizontalen Wandteil
des Anlagengehäuses bis zur parallel dazu verlaufenden unteren Bodenplatte (vgl.
E1, Sp. 2, Z. 2 bis 9). Oberhalb dieser Zwischenwände befindet sich jeweils ein
Vakuumpumpenpaar (vgl. E1, Sp. 2, Z. 32 bis 36). Eine Entnahme dieser Zwi-
schenwände über Öffnungen in der Gehäuseaußenwand ist demzufolge nicht vor-
gesehen, so dass es sich dabei um stationäre, d. h. ortsfest montierte Zwischen-
wände handelt.
Dem Einwand der Einsprechenden, die in E1 offenbarte technische Lehre bestehe
darin, eine Vakuumbeschichtungsanlage in mehrere, voneinander getrennte Be-
schichtungsräume mittels lösbarer, über Öffnungen entnehmbarer Zwischen-
wände zu unterteilen, kann nicht gefolgt werden. Denn in der E1 findet sich kein
Hinweis dahingehend, dass der Betrieb der Anlage ohne die ortsfesten Zwischen-
wände möglich wäre. Es wird vielmehr darauf hingewiesen, dass die von den
ortsfesten Zwischenwänden gebildeten evakuierbaren Abteilungen als Gastren-
nung wirken und gezielt geschaffen wurden, um Funktionseinheiten mit konstanter
Gasverteilung zu erhalten, in denen jeder Kathodenstation eine Vakuumpumpen-
station vor- und nachgeschaltet ist (vgl. E1, Sp. 1, Z. 42 bis 48 und Sp. 2, Z. 54 bis
63). Die E1 lehrt folglich für die räumliche Unterteilung einer Vakuumbeschich-
tungsanlage eine Kombination aus lösbaren und ortsfest montierten Zwischen-
wänden zu verwenden und vermag daher die Neuheit des patentgemäßen Kom-
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partmentsystems, dessen räumliche Unterteilung ausschließlich mit Zwischen-
wänden bewerkstelligt wird, die an Deckeln montiert und über Öffnungen aus dem
Anlagengehäuse entnehmbar sind, nicht in Frage zu stellen.
3.
Das Kompartmentsystem einer längserstreckten Vakuumbeschichtungsan-
lage nach Patentanspruch 1 beruht auch auf einer erfinderischen Tätigkeit.
Dem Streitpatent liegt die Aufgabe zugrunde, ein System von Kompartments in
einer längserstreckten Vakuumbeschichtungsanlage bereitzustellen, das aufgrund
der Anzahl seiner Kompartments sowie deren Abmessungen flexibel den Anforde-
rungen verschiedenster ein- und beidseitiger Beschichtungsprozesse angepasst
werden kann und dabei eine stabile, differenzierbare und prozessoptimierte Be-
schichtungsatmosphäre gewährleistet (vgl. Streitpatent, Abs. [0009]).
Die Aufgabe wird nach Patentanspruch 1 durch ein Kompartmentsystem mit fol-
genden Merkmalen gelöst:
1.
Kompartmentsystem einer längserstreckten Vakuumbeschichtungs-
anlage, gebildet aus einem kanalartigen und evakuierbaren Anla-
gengehäuse,
2.
in welchem ausschließlich durch eine, sich in den Innenraum erstre-
ckende,
2.1
rechtwinklig zu den Gehäuseaußenwänden angeordnete Zwischen-
wand oder mehrere solcher Zwischenwände Kompartments derart
abgeteilt sind, dass
2.2
das zu beschichtende Substrat in einer Transportebene mittels
eines Transportsystems durch das Anlagengehäuse hindurch be-
wegbar ist, und
3.
in dessen oberer und/oder unterer Gehäuseaußenwand mit De-
ckeln verschließbare Öffnungen ausgebildet sind,
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4.
wobei an einem Deckel eine in ein Kompartment ragende Beschich-
tungsquelle montiert ist und
5.
die Zwischenwand oder die Zwischenwände an einem Deckel mon-
tiert und durch die Öffnung, welche der Deckel verschließt, aus dem
Anlagengehäuse entnehmbar sind.
Die Lösung der Aufgabe wird durch den entgegengehaltenen Stand der Technik
nicht nahegelegt.
Die Druckschrift E1 betrifft eine Beschichtungsanlage, in der für den Beschich-
tungsprozess mehrere, über Spaltschleusen verbundene Kathodenstationen vor-
gesehen sind, wobei jeder Kathodenstation jeweils eine Vakuumpumpstation vor-
und nachgeschaltet ist, so dass einzelne evakuierbare Abteilungen entstehen (vgl.
E1, Sp. 1, Z. 42 bis 48 i. V. m. Anspruch 1). Für die räumliche Unterteilung der
Anlage werden zwei Arten von Zwischenwänden verwendet: Zum einen lösbare,
über Öffnungen in der oberen Gehäuseaußenwand entnehmbare Zwischenwände,
die den Beschichtungsraum um die einzelnen Kathoden begrenzen (vgl. E1, Sp. 2,
Z. 9 bis 16 und Z. 41 bis 47 i. V. m. Fig. 1). Zum anderen ortsfest montierte Zwi-
schenwände, die die Anlage in evakuierbare Abteilungen unterteilen (vgl. E1,
Sp. 2, Z. 2 bis 9 i. V. m. Fig. 1). Eine flexible räumliche Aufteilung der Beschich-
tungsanlage ist allerdings mit keiner dieser Zwischenwände möglich. Denn die
lösbaren Zwischenwände bieten zwar den Vorteil die daran befestigte Kathoden-
umgebung problemlos aus der Anlage entnehmen zu können; eine flexible Raum-
aufteilung der Anlage ermöglichen diese Zwischenwände jedoch nicht, da sie stets
in der Nähe der Kathoden positioniert werden müssen (vgl. E1, Sp. 2, Z. 47 bis
53). Auch der Einsatz der ortsfesten Zwischenwände ist in der Anlage der E1 nicht
frei wählbar, da sich die Zwischenwände für den Erhalt der evakuierbaren Abtei-
lungen zwangsläufig unterhalb der Vakuumpumpenpaare, die den jeweiligen
Kathodenstation vor- und nachgeschaltet sind, befinden müssen (vgl. E1, Sp. 2,
Z. 32 bis 36). Demzufolge liefert die E1 dem Fachmann - einem mit der Konstruk-
tion von Vakuumbeschichtungsanlagen betrauten Ingenieur, der über mehrjährige
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Berufserfahrung verfügt - keine Anregungen dahingehend, eine Vakuumbeschich-
tungsanlage räumlich flexibel zu gestalten.
Die Einsprechende hat vorgetragen, dass in der E1 die Bildung von Beschich-
tungskompartments durch die Verwendung lösbarer Zwischenwände gelehrt
werde, die im patentgemäßen Sinn an einem Deckel montiert seien und über Öff-
nungen, die die Deckel verschließen, entnommen werden könnten, weshalb Zwi-
schenwände mit dem Merkmal 5 des geltenden Patentanspruchs 1 für den Fach-
mann zur räumlich flexiblen Gestaltung einer Vakuumbeschichtungsanlage auf der
Hand lägen. Dieser Einwand vermag indessen nicht durchzugreifen. Die in E1
beschriebene Verbindung der Zwischenwände mit dem Deckel ist nämlich dreitei-
lig gestaltet, da die Zwischenwände dabei zunächst an einem Rahmen angebracht
werden, der wiederum mit dem oberen Wandteil verschraubt und mit einem an
dieser Stelle vorgesehenen Deckel verbunden ist (vgl. E1, Sp. 2, Z. 41 bis 47). Die
im Merkmal 5 des geltenden Patentanspruchs 1 enthaltene Formulierung „an
einem Deckel montiert“ lässt dagegen erkennen, dass die Verbindung von Zwi-
schenwand und Deckel im erfindungsgemäßen Kompartmentsystem nur zweiteilig
ausgebildet ist. Dem in diesem Zusammenhang von der Einsprechenden vorge-
tragenen Einwand, Rahmen und Deckel würden in der E1 eine funktionelle Einheit
bilden, in der der Rahmen lediglich für das Tragen der Strukturen benötigt würde,
so dass es sich dabei um eine Verbindung im patentgemäßen Sinn handle, kann
nicht gefolgt werden. Denn aufgrund der in E1 angegebenen Verschraubung des
Rahmens mit dem oberen Wandteil des Anlagengehäuses handelt es sich bei
dem in E1 verwendeten Rahmen nicht um einen Teil des Deckels, sondern viel-
mehr um einen Teil des Gehäuses. Demzufolge wird in der E1 weder der Einsatz
von Zwischenwänden gelehrt, die entsprechend dem Merkmal 5 des Patentan-
spruchs 1 an einem Deckel montiert sind, noch liefert sie dem Fachmann Anre-
gungen dahingehend, ausschließlich an Deckel montierte und über Öffnungen ent-
nehmbare Zwischenwände für eine räumlich flexible Aufteilung einer Vakuumbe-
schichtungsanlage zu verwenden.
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Anregungen in Richtung der patentgemäßen Lösung entnimmt der Fachmann
auch der Druckschrift E6 nicht. Sie weist vielmehr in eine andere Richtung. Die
Prozesskammer der dort beschriebenen Sputteranlage ist nämlich weder in Kom-
partments unterteilt, noch weist sie ein kanalartiges Anlagengehäuse auf. Der
Vakuumrezipient dieser Anlage ist vielmehr kreisförmig gestaltet und besitzt an
Stelle räumlicher Kompartments ein Blendensystem (vgl. E6, S. 28 bis S. 29, ers-
ter Abs. und S. 32, Abb. 2.7). Dem Einwand der Einsprechenden, der Fachmann
werde die in E6 beschriebene Pilotanlage für den großtechnischen Betrieb als zu
wenig flexibel erachten und diese daher mit lösbaren Zwischenwänden wie in E1
beschrieben ausstatten, kann nicht gefolgt werden. Denn die Anlage der E6 wurde
unter der Maßgabe entwickelt, dass sie gut auf industrielle Produktionsanlagen
übertragbar ist und genügend Flexibilität bei den Beschichtungsbedingungen
sowie der Aufnahme der Messtechnik bietet, so dass der Fachmann keine Veran-
lassung sehen wird, die räumliche Flexibilität dieser Anlage weiter zu verbessern
(vgl. E6, S. 24, erster Abs.).
Auch der von der Einsprechenden vorgenommenen Auslegung der in E6 offen-
barten technischen Lehre dahingehend, dass es sich bei den mit der Grundplatte
des Vakuumrezipienten verbundenen Anodenblechen um Zwischenwände handle,
die die einzelne Beschichtungsräume in der Anlage begrenzten, wobei der Fach-
mann derartige Zwischenwände jedoch als zu wenig flexibel erachten und dem
Vorbild der E1 entsprechend daher als lösbare Zwischenwände ausgestalten
werde, um diese über entsprechend dimensionierte Öffnungen in der Grundplatte
des Vakuumrezipienten entnehmen zu können, kann sich der Senat nicht an-
schließen. Denn wie in Abbildung 2.1 der E6 gezeigt (vgl. E6, S. 25), handelt es
sich beim Anodenblech um einen Bestandteil der Magnetronkathode und nicht
- wie von der Einsprechenden angenommen – um einen Teil des Anlagengehäu-
ses. Folglich kommt dem Anodenblechen auch keine Funktion als raumaufteilende
Zwischenwand zu. Eine von Zwischenwänden gebildete räumliche Aufteilung ist
im Vakuumrezipienten der E6 zudem nicht erforderlich, da durch das darin ver-
wendete Blendensystem bereits eine räumlich getrennte Beschichtung einzelner
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Substrate ermöglicht wird (vgl. E6, S. 28, letzter Abs. bis S. 29, erster Absatz
i. V. m. Abb. 2.5).
Eine Anregung die dem Streitpatent zugrunde liegende Aufgabe durch Zwischen-
wände zu lösen, die das Merkmal 5 des geltenden Patentanspruchs 1 erfüllen,
kann auch eine Zusammenschau der E6 mit der E1 nicht liefern, da aus den
bereits zuvor genannten Gründen weder aus der E1 noch aus der E6 an einem
Deckel montierte Zwischenwände bekannt sind.
Die weiteren im Verfahren befindlichen Entgegenhaltungen, die in der mündlichen
Verhandlung nicht mehr aufgegriffen wurden, gehen über den vorstehend abge-
handelten Stand der Technik nicht hinaus und führen den Fachmann ebenfalls
nicht zum vorliegend beanspruchten Kompartmentsystem. Auch eine Zusammen-
schau dieses Standes der Technik führt zu keinen weiteren Gesichtspunkten.
4.
Das Kompartmentsystem nach dem geltenden Patentanspruch 1 erfüllt somit
alle Kriterien der Patentfähigkeit. Der geltende Patentanspruch 1 hat demzufolge
Bestand. Das Gleiche gilt für die auf den geltenden Patentanspruch 1 rückbezo-
genen Patentansprüche 2 bis 9, die jeweils weitere, über platte Selbstverständ-
lichkeiten hinausgehende Ausführungsformen des Kompartmentsystems nach
Patentanspruch 1 betreffen.
Schröder
Harrer
Gerster
Münzberg
Fa